現(xiàn)代工業(yè)產品生產和現(xiàn)代化科學實驗活動要求微型化、精密化、高純度、高質量和高可靠性，國內外的潔凈工程的發(fā)展都是隨著科學工程的發(fā)展、工業(yè)產品的日新月異，特別是軍事工業(yè)、航天、電子和生物醫(yī)藥等工業(yè)的發(fā)展而不斷發(fā)展。

    高純度的產品，如生產集成電路所需單晶硅材料，生產光纖所需四敘化硅、四氯化錯材料等已由過去的所謂高純進入“電子純”“超純”，只有達到如此高的純度才能達到現(xiàn)代集成電路、電子元器件、光纖產品所需的工程特性。要生產如此高純度的產品，就必須達到相應的受控生產環(huán)境的空氣潔凈度等級和具有相應高純度的與產品直接接觸的超純水、超純氣體、超純試劑等。基于這種趨勢，潔凈工程的發(fā)展已成為現(xiàn)代工業(yè)生產和科學實驗活動不可缺少的重要標志之一。

    20世紀60年代的潔凈工程在美國、歐洲等發(fā)達國家順應各行各業(yè)產品生產和科學實驗活動的需要得到了廣泛應用，可以認為是潔凈工程的大發(fā)展時期。我國的潔凈工程開始于20世紀60年代初，在70年代電子工業(yè)潔凈室特別是半導體集成電路用潔凈室的設計、建造發(fā)展很快，相繼建成一批潔凈廠房，并研制成功100級單向流潔凈室。

    與此同時，潔凈工程的潔凈廠房用設備和材料，如高效過濾器，潔凈工作臺、層流罩、潔凈烘箱、空氣吹淵室、凈化型傳遞窗等相繼研制成功，并投入生產，雖然制造質量和某些工程指標與國際水平尚有差距，但已能滿足國內部分需求。