潔凈度等級:通常采用ISO潔凈度等級標準,可根據實際需要分為ISO 5到ISO 9級以上。在實際應用中,行業內習慣將100級、1000級、10000級的潔凈室稱為超凈實驗室。 空氣質量標準:要求室內空氣中氧氣、二氧化碳、氮氣等氣體的含量必須維持在人體可以接受的范圍內。 溫度和濕度標準:一般要求室內溫度在18℃到25℃之間,相對濕度在45%~55%之間。 壓力差標準:超凈室在使用時一般要求產生微小的負壓,防止室外空氣流入。產生的負壓一般為10Pa~20Pa。
超凈室,也被稱為無塵室或清凈室,是指將一定空間范圍內之空氣中的微粒子、有害空氣、細菌等污染物排除,并將室內之溫度、潔凈度、室內壓力、氣流速度與氣流分布、噪音振動及照明、靜電控制在某一需求范圍內,而所給予特別設計的房間。